評價報告編號No：皖安評20211100121

項目名稱

南大光電半導體材料有限公司年產433噸前驅體和合金材料

產業化項目（一期）安全條件評價報告

項目簡介

評價對象：南大光電半導體材料有限公司

項目類型：安全條件評價報告

項目內容：

南大光電半導體材料有限公司（以下簡稱“南大光電半導體公司”）成立于2019年1月10日，是由江蘇南大光電材料股份有限公司投資的全資子公司，位于安徽省滁州市全椒縣十字鎮十譚產業園新城大道117號，企業性質為股份有限責任公司，法定代表人馮劍松，該公司以高新技術光電子及微電子材料的研究、開發、生產、銷售為主，主要生產高純磷烷、高純砷烷等高純電子材料產品。

南大光電現已建成年產170噸MO源和高K三甲基鋁項目（一期），并通過驗收取得安全生產許可證，編號：（皖M）WH安許證字[2020]G29號，許可范圍：三甲基鋁(HK)100t/a、三甲基鋁(OPTO)5t/a，有效期至2023年12月14日。

（1）項目建設內容

本項目不新增任何建筑物，均為依托。

本項目擬在已建廠房A1車間內中部1～4層預留位置建設年產20噸的六氯乙硅烷（HCDS）生產線1條、年產10噸的四氯化鈦（TiCl4）生產線1條、年產120噸的正硅酸乙酯（TEOS）生產線1條、年產2噸的三氯化鋁（AlCl3）生產線2條、年產1噸的四氯化鉿（HfCl4)生產線1條、年產1噸的三氯化銦（InCl3)生產線1條和年產1噸的（3，3-二甲基-1-丁炔）六羰基二鈷（CCTBA）生產線1條。

本項目擬在待建A5車間內西部1層預留位置建設年產55噸的鎵鎂合金（鎵60%、鎂40％）破碎生產線1條、年產5噸的銦鎂合金（銦55%、鎂45％）破碎生產線1條。

其他公輔工程（如供電系統、消防水系統、給排水系統、供熱系統、壓縮空氣系統、氮氣、氬氣系統等）均依托廠區現有的公輔工程。

（2）項目前期備案、安全審批情況

2022年1月24日，滁州市全椒縣經信局出具了本項目《備案表》（編號：2110-341124-07-02-641989），確定南大光電半導體材料有限公司年產433噸前驅體和合金材料產業化項目分兩期建設。

一期建設：鎵鎂合金（鎵60%、鎂40%）破碎產線，年產能為55噸；銦鎂合金（銦55%、鎂45%）破碎產線，年產能為5噸；六氯乙硅烷（HCDS）產線，年產能為20噸；四氯化鈦（TiCl4）產線，年產能為10噸；正硅酸乙酯（TEOS）1條產線，年產能為120噸；三氯化鋁（AlCl3）2條產線，年產能為2噸；四氯化鉿（HfCl4)1條產線，年產能為1噸；三氯化銦（InCl3)1條產線，年產能為1噸；(3，3-二甲基-1-丁炔）六羰基二鈷(CCTBA)1條產線，年產能為1噸。

二期建設：二乙氧基甲基硅烷（DEMS）產線，年產能為20噸；a-松油烯（ATRP）產線，年產能為20噸；四甲基硅烷（4MS）產線，年產能為20噸；正硅酸乙酯（TEOS）1條產線，年產能為120噸；八甲基環四硅氧烷（OMCTS）產線，年產能為20噸；雙（二乙基胺基）硅烷（BDEAS）產線，年產能為10噸；三乙基鋁（TEA）產線，年產能為1噸；吡啶（C5H5N）產線，產能為1噸；辛烷（OCTANE）產線，年產能為1噸；四（二甲基胺基）鈦（TDMAT）產線，年產能為2噸；1，1，1-三（二甲胺基）乙硅烷（TADS）產線，年產能為1噸；三（二甲胺基）硅烷（TDMAS）產線，年產能為2噸。

（3）主要技術、工藝水平對比情況

本項目前驅體產品的提純工藝為液體精餾提純、固體升華提純，不涉及化學反應過程。工藝技術來源于同一集團公司旗下的全椒南大光電材料有限公司，雙方簽訂技術轉讓協議，全椒南大光電材料有限公司將擁有的正硅酸乙酯（TEOS）、六氯乙硅烷（HCDS）和四氯化鈦（TiCl4）等前驅體材料的提純、升華技術工藝包轉讓于南大光電半導體材料有限公司（技術轉讓協議見附件6），并提供技術指導，該技術已經在全椒南大光電材料有限公司生產多年，工藝成熟可靠，不屬于國內首次使用工藝。

本項目合金材料僅通過破碎設備進行粉碎，過程采用氬氣作為保護氣。該工藝過程為物理性狀變化不涉及化學反應，為國內通用的金屬粉碎工藝，工藝技術安全可靠。

依據《產業結構調整指導目錄（2019年本）》（發改委令第29號，2021年修訂），本項目屬于“鼓勵類”；第二十八項、信息產業中，第22條：半導體、光電子器件、新型電子元器件（片式元器件、電力電子器件、光電子器件、敏感元器件及傳感器、新型機電元件、高頻微波印制電路板、高速通信電路板、柔性電路板、高性能覆銅板等）等電子產品用材料類。

依據《國家安全監管總局關于印發淘汰落后安全技術裝備目錄（2015年第一批）的通知》（安監總科技〔2015〕75號）、《國家安全監管總局關于印發淘汰落后安全技術工藝、設備目錄（2016年）的通知》（安監總科技〔2016〕137號）、《推廣先進與淘汰落后安全技術裝備目錄（第二批）》（國家安全生產監督管理總局、中華人民共和國科學技術部、中華人民共和國工業和信息化部公告〔2017〕第19號）、《應急管理部辦公廳關于印發淘汰落后危險化學品安全生產工藝技術設備目錄（第一批）的通知》（應急廳〔2020〕38號），《限期淘汰產生嚴重污染環境的工業固體廢物的落后生產工藝設備名錄》（中華人民共和國工業和信息化部公告2021年第25號），本項目擬采用的生產工藝設備未列入落后淘汰類生產工藝裝備。

依據《安徽省應急管理廳關于嚴格控制高風險危險化學品建設項目的通知》皖應急〔2021〕89號，高風險危險化學品項目（簡稱“高風險項目”）包括：光氣生產企業，涉及光氣化、硝化、重氮化、偶氮化工藝以及硝酸銨、硝酸胍、硝基苯系物、硝化纖維素、氯酸鉀、氯酸鈉等爆炸性化學品的項目。本項目生產工藝不涉及光氣化、硝化、重氮化、偶氮化工藝；主要原輔材料不涉及硝酸銨、硝酸胍、硝基苯系物、硝化纖維素、氯酸鉀、氯酸鈉等爆炸性化學品，故本項目不屬于高風險危險化學品項目。

依據《國家安全監管總局辦公廳關于具有爆炸危險性危險化學品建設項目界定標準的復函》（安監總廳管三函〔2014〕5號），本項目原料正硅酸乙酯（TEOS）等易燃液體的蒸氣能與空氣形成爆炸性混合物，因此本項目為具有爆炸危險性的建設項目。

依據《國家安全監管總局關于加強精細化工反應安全風險評估工作的指導意見》（安監總管三〔2017〕1號），《關于聚焦“一防三提升”開展危險化學品安全生產集中治理整頓工作的通知》（皖應急[2021]74號），本項目生產工藝不涉及重點監管危險化工工藝和金屬有機物合成反應（包括格氏反應）的間歇和半間歇反應。

依據《國家安全監管總局關于公布首批重點監管的危險化工工藝目錄的通知》（安監總管三〔2009〕116號）、《國家安全監管總局關于公布第二批重點監管危險化工工藝目錄和調整首批重點監管危險化工工藝中部分典型工藝的通知》（安監總管三〔2013〕3號），本項目不涉及危險化工工藝。

依據《國家安全監管總局關于公布首批重點監管的危險化學品名錄的通知》（安監總管三〔2011〕95號）和《國家安全監管總局關于公布第二批重點監管危險化學品名錄的通知》（安監總管三〔2013〕12號），本項目涉及的四氯化鈦屬于首批重點監管的危險化學品。

依據《危險化學品目錄》（2015年版）辨識，本項目不涉及劇毒化學品。

依據《易制毒化學品管理條例》（中華人民共和國國務院令第445號）、《非藥品類易制毒化學品生產、經營許可辦法》（國家安全生產監督管理總局令第5號）、《國務院辦公廳關于同意將N-苯乙基-4-哌啶酮、4-苯胺基-N-苯乙基哌啶、N-甲基-1-苯基-1-氯-2-丙胺、溴素、1-苯基-1-丙酮列入易制毒化學品品種目錄的函》（國辦函〔2017〕120號）和《國務院辦公廳關于同意將α-苯乙酰乙酸甲酯等6種物質列入易制毒化學品品種目錄的函》（國辦函〔2021〕58號）辨識，本項目不涉及易制毒化學品。

依據《高毒物品目錄》（2003年版）辨識，本項目不涉及高毒化學品。

依據《易制爆危險化學品名錄》（2017年版）辨識，本項目原料鎂屬于易制爆危險化學品。

依據《各類監控化學品名錄》（中華人民共和國工業和信息化部令第52號）辨識，本項目不涉及監控化學品。

依據《特別管控危險化學品目錄（第一版）》辨識（應急管理部、工業和信息化部、公安部、交通運輸部公告2020年第1號），本項目不涉及特別管控危險化學品。

參照《工貿行業重點可燃性粉塵目錄（2015版）》和《工貿行業可燃性粉塵作業場所工藝設施防爆技術指南（試行）》辨識，本項目產品標準銦鎂合金粉、鎵鎂合金粉粒徑為1.3～1.6cm（見附件7：企業提供銦鎂合金粉、鎵鎂合金粉粒產品合格標準），本項目鎂合金粉的粒徑遠大于鎂合金粉的爆炸性粉塵中位徑（21μm），故不屬于目錄中爆炸危險性相對較高的可燃性粉塵。

項目組

項目組長

羅健（安全評價師、注冊安全工程師）

評價人員

及任務

祁冬東（安全評價師、注冊安全工程師）（收集資料、現場勘查、整改復查）

夏義定（安全評價師、注冊安全工程師）（現場勘查、危險有害因素辨識）

報告編制人

李祥兵（安全評價師、注冊安全工程師）

報告審核人

王斌（安全評價師、注冊安全工程師）

技術負責人

田莉娟（安全評價師、注冊安全工程師）

過程控制負責人

夏炎（安全評價師）

報告提交時間

2022年5月5日

現場照片